무성방전(無聲放電)·용액의 전기분해 등을 이용해서 인공적으로 오존을 발생시키는 장치. 무성방전에 의한 것은 1857년 독일 W.지멘스에 의해 고안되었다. 방전관(放電管)은 수 cm의 간격을 가진 2중 유리관으로 되어 있으며, 내관(內管)의 안쪽과 외관(外管)의 바깥쪽에 주석 박(箔)을 입히고, 감응(感應)코일에 의해서 5~25 kV의 교류전압을 가하여 무성방전시킨다.

한쪽에서 건조한 산소 또는 공기를 보내면, 산소의 일부가 오존으로 변하여 함유량 10 % 정도의 오존과 산소(공기)의 혼합물이 나온다. 이것을 지멘스 오존관이라고도 한다. 오존이 가지는 효용으로 인해 살균·탈취·공기정화 등에 사용된다. 이 밖에 전기분해에 의한 것은 황산용액에 백금 또는 과산화납의 전극(電極)을 사용해서 전기분해하여 20 % 정도의 오존을 발생시킬 수 있다.